Tetra Methylethylamino Hafniumlösung

Tetra (Methylethylamino) Hafnium ist eine chemische Verbindung mit der Formel HF (NMEET) 4, wobei Nmeet den Methylethylamino -Liganden darstellt. Es handelt sich um eine Koordinationsverbindung von Hafnium, ein Übergangsmetallelement. Die Verbindung wird hauptsächlich als Vorläufer bei der Ablagerung von Hafnium-haltigen Dünnfilmen für verschiedene Anwendungen verwendet, einschließlich Mikroelektronik und Optik.

Tetra (Methylethylamino) Hafnium ist eine flüchtige Flüssigkeit bei Raumtemperatur und hat eine gelbe Farbe. Es ist hochreaktiv und empfindlich gegenüber Luft und Feuchtigkeit, die unter intätigen Bedingungen sorgfältig behandelt und gelagert werden muss. Die Verbindung kann durch Reaktion von Hafnium -Tetrachlorid mit Methylethylamin in einem Lösungsmittel wie Tetrahydrofuran synthetisiert werden.

In Dünnschichtabscheidungsprozessen wird Tetra (Methylethylamino) Hafnium typischerweise als Dampfphasenvorläufer verwendet. Es kann thermisch verdampft oder in der chemischen Dampfabscheidung (CVD) oder Atomschichtabscheidung (ALD) verwendet werden, um Hafnium-haltige Filme auf verschiedenen Substraten abzulegen. Diese Filme können als Gate -Dielektrikum in Mikroelektronik sowie in optischen Beschichtungen und anderen Anwendungen verwendet werden.

Insgesamt ist Tetra (Methylethylamino) Hafnium eine wichtige Verbindung im Bereich der Materialwissenschaft und -technologie, das die Produktion von Dünnfilmen auf Hafniumbasis mit kontrollierten Eigenschaften für verschiedene technologische Anwendungen ermöglicht.